發(fā)布單位: 科研公共服務(wù)條件平臺
發(fā)布時間:2025-09-02
武漢大學(xué)科研公共服務(wù)條件平臺聚焦離子束/電子束雙束電鏡(Helios 5 CX)已經(jīng)安裝完畢,即日起對校內(nèi)開放試運行,歡迎校內(nèi)師生預(yù)約測試!
一、基本參數(shù)
1、聚焦離子束/電子束雙束電鏡(Helios 5 CX)
主要技術(shù)參數(shù):
離子源種類(液態(tài)Ga離子源)、交叉點分辨率(4.0nm@30kV(采用首選統(tǒng)計法),2.5nm@30kV(采用選邊法))、加速電壓范圍(500V-30kV)、束流強度范圍(1pA-100nA)。
電子槍類型(肖特基場發(fā)射燈絲)、分辨率(最佳工作距離下:0.6nm@30kV STEM,0.6nm@15kV,0.9nm@1kV;交叉點分辨率:0.6nm@15kV,1.5nm@1kV)、交叉點工作距離(4-5nm)、加速電壓范圍(200V-30kV連續(xù)可調(diào))、束流強度范圍(0.8pA-176nA)。
樣品室(內(nèi)徑379mm)、樣品臺(五軸馬達驅(qū)動樣品臺,X/Y方向移動范圍110mm,Z方向移動范圍65mm,R(旋轉(zhuǎn))=360°,T(傾斜)=-11°~+57°)。
2、附件配置:
冷凍傳輸系統(tǒng)(QUORUM PP3010):
電鏡內(nèi)冷臺溫度范圍(-190℃~室溫)、制備腔室冷臺溫度范圍(-190℃~+50℃)、冷凍腔室(溫度范圍+110℃至-185℃,可烘烤至+110℃,工作溫度范圍-15℃至-185℃)。
能譜儀(Oxford UltimMax170):
能量分辨率(Mn Kα保證優(yōu)于127eV@計數(shù)率130,000cps,F(xiàn) Kα保證優(yōu)于64eV@計數(shù)率130,000cps,C Kα保證優(yōu)于56eV@計數(shù)率130,000cps)、元素分析范圍(Be4-Cf98)。
陰極熒光系統(tǒng)(Gatan 450.P.WAR):
CCD讀譜探頭(探測范圍200-1100nm)、入口/出口狹縫可調(diào)范圍(0.01mm-10mm連續(xù)可調(diào))、光譜分辨率(<0.1nm@404.6nm)、分光光柵(1200l/mm@500nm,尺寸69mm×69mm)
二、應(yīng)用領(lǐng)域
聚焦離子束/電子束雙束電鏡(Helios 5 CX)具有材料截面結(jié)構(gòu)表征、透射電鏡樣品制備、三維斷層掃描等功能。本臺電鏡配備獨立的冷凍傳輸系統(tǒng)、能譜儀、電子背散射衍射附件、陰極熒光系統(tǒng),可對不耐輻照樣品進行冷凍斷裂、沉積導(dǎo)電層后,再進行微觀結(jié)構(gòu)分析以減少輻照損傷,還可在室溫下進行材料成分分析、物相鑒定、發(fā)光特性研究及缺陷雜質(zhì)檢測等。
三、送樣須知
1、送樣請至少提前一周預(yù)約,并說明樣品類型及實驗條件。
2、冷凍掃描測試降溫及回溫需較長時間穩(wěn)定,至少預(yù)約一天機時。
預(yù)約請登錄:https://facility.whu.edu.cn/
地點:武漢大學(xué)尖端科技樓101F
聯(lián)系人:胡老師 15623268602