武漢大學科研公共服務條件平臺變溫原位力學掃描系統已經安裝完畢，即日起對校內開放試運行，歡迎校內師生預約測試！
一、基本參數
1、場發射掃描電鏡電子光學系統（GeminiSEM360）
主要技術參數：
二次電子分辨率（0.7nm@15kV，1.2nm@1kV）、最大放大倍數（1,000,000X）、電子束加速電壓（0.02-30kV）、樣品室（358mm（Φ）×270mm（h））、樣品臺（五軸優中心馬達驅動樣品臺X≥130mm，Y≥130mm，Z≥50mm，R（旋轉）＝360°，T（傾斜）＝-3°~+70°）。
2、附件配置：
原位臺力學加載模塊和升溫模塊：
最大載荷（5000N）、載荷分辨率（1N）、加載速率（0.55-30μm/s）、最大行程（20mm）、溫度范圍（室溫~800℃）、溫度調節精度（0.1℃）。
掃描電鏡內集成原子力顯微鏡：
最大樣品尺寸（10mm×10mm×5mm）、分辨率（數字像素尺寸Z＜20pm）、AFM壓電陶瓷臺（XY行程15mm×15mm）、移動精度（＜100nm）、掃描模式（接觸式、非接觸式、敲擊模式）、掃描范圍（20μm×20μm）。
掃描電鏡內集成納米操縱儀（Kleindiek MM3A-EM）：
步進精度（Z＜0.05nm，X＜0.5nm，Y＜0.5nm）、繞軸旋轉功能（同心旋轉同心度＜30μm，繞軸旋轉恢復精度＜0.02°）、移動范圍（X/Y方向擺動最大240°，Z軸延展最大距離可至12mm）、最大移動速率（X/Y軸＝10mm/s，Z軸＝2mm/s）、閉環設計（重復精度＜2μm，可一鍵將操縱儀移至預設位置）。
能譜儀（Oxford UltimMax65）：
能量分辨率（Mn Kα保證優于127eV@計數率130,000cps，F Kα保證優于64eV@計數率130,000cps，C Kα保證優于56eV@計數率130,000cps）、元素分析范圍（Be4～Cf98）。
二、應用領域
變溫原位力學掃描系統基于GeminiSEM360型掃描電鏡，配備獨立的原位力學拉伸臺（配置加熱模塊）、EDS探頭/EBSD探頭、原子力顯微鏡、納米操縱儀。可在掃描電鏡中進行力、熱聯合加載的同時，對樣品表面微觀結構演變進行實時觀測與分析，如自動拍攝SEM圖像、自動控制EDS/EBSD數據采集等。集成在掃描電鏡里的原子力顯微鏡可實現原位操縱AFM探針以獲取樣品表面結構、力學、電學等性質。適用于物理、材料、化學、微電子等多個學科領域的前沿研究。
三、送樣須知
1.送樣請至少提前一周預約，并說明樣品類型及實驗條件。
2.變溫原位力學模塊裝卸需較長時間穩定真空，一天至多測試兩個樣品。
3.AFM測試請提前溝通測試模式。
預約請登錄：https://facility.whu.edu.cn/
地點：武漢大學尖端科技樓101F
聯系人：胡老師 15623268602
